石英砂濾料特別是高純石英砂是半導(dǎo)體行業(yè)的主要塑封材料,它和環(huán)氧樹脂、固化劑、各種添加劑等復(fù)合使用,可以節(jié)約封裝成本;并且還可用作電子基板材料,用于制備單晶硅和多晶硅等。
近幾年,國內(nèi)外計(jì)算機(jī)技術(shù)發(fā)展非常迅速,EMC生產(chǎn)線從線寬5um(集成度16k)/3um(集成度64k)、2nm、1um技術(shù)一直發(fā)展到目前的0.25um、0.10um,要求石英砂向高純度、低結(jié)晶度、低放射性含量、球形化方向發(fā)展。
球形石英砂是利用一定的加工工藝使石英砂的顆粒呈球形。由于球形顆粒的表面積最小,各向同性好,流動性好,與樹脂攪拌均勻,樹脂添加量小,石英砂的重量填充比可以達(dá)到90.5%因此可以減小塑封材料的熱膨脹系數(shù)、導(dǎo)熱系數(shù)、使其最大限度地接近單晶硅的熱膨脹系數(shù),從而提高塑封材料的使用性能,降低原材料成本。其次,球形石英砂的制備的塑封材料集中應(yīng)力最小,應(yīng)力只是角形粉的60%強(qiáng)度最高,因此利用球形粉封裝材料用于電路芯片時(shí),成品率高,運(yùn)輸、安裝、使用過程中不易產(chǎn)生機(jī)械損傷。第三,球形粉的摩擦系數(shù)小,對模具的磨損小,可以延長模具的使用壽命達(dá)一倍,降低企業(yè)成本,提高經(jīng)濟(jì)效益。
根據(jù)集成電路的集成度確定使用球形石英砂,當(dāng)集成度達(dá)到16M以上時(shí),集成電路基本全部使用球形石英砂;250M時(shí),集成電路的線寬為0.25um,1G集成度時(shí),線寬0.18um。目前計(jì)算機(jī)PIV、PM處理器的CPU芯片,已經(jīng)達(dá)到250M,1G的水平。這時(shí)使用的石英砂濾料為更高純度、更低放射性的球形石英砂。
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