特氣柜   鋼瓶柜   氣瓶柜  Gas Cabinet

1.  特氣柜(Gas Cabinet)

2.   特氣柜尺寸：800長×540寬×1800高

3.   PN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口

GN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口

CDA入口壓力 4-10bar，1/4卡套接口

VENT 1/2VCR接口

工藝氣體出口1/4 VCR接口

4.   特氣柜柜體換氣量:SiH4-1200次/小時，其余300次/小時

5.   根據(jù)實際需要可安裝稱重、報警、加熱裝置

6.   按操作方式分為：手動切換、半自動切換。

7.   閥門盤配件全部采用進口電子級材料，材質為SS316L不銹鋼。

8.   氣體管路及焊接件加工全部采用Swagelok自動軌道焊機焊接。

9.   氣體管路設計合理，具備抽空、回充、壓力指示、排放、檢漏、預留接口等。

10. 完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發(fā)時，自動切斷。

11. 氣瓶柜設計美觀，緊湊，安全，質優(yōu)價廉，可按照客戶要求定制。

特氣柜主要應用在 為MOCVD、PECVD、刻蝕機等設備供應有毒有害易燃易爆氣體上，涉及半導體、太陽能光伏、生物工程、微電子、化工等行業(yè)。

我們的特氣設備有：電子級特氣柜(GasCabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by FlowMeter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測器（GasDetector），廢氣處理設備(Scrubber)。我們的產(chǎn)品有：美國PARKER調壓閥、FPA接頭，日本JSK卡套接頭，日本FUJIKINVCR接頭，高純KUZE/ASFLOWBA/EP不銹鋼管，高純NKS壓力表，氣體壓力傳感器，氣體壓力開關，高純Parker/富士金隔膜閥，高純氣體過濾器， 氣體質量流量計。