無塵室：
無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，
無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵車間內(nèi)墻間和頂棚的裝修應符合下列要求：
①潔凈車間墻板和頂棚的裝修表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵等要求，并減少凹凸面。
②踢腳不應突出墻面。
③潔凈車間內(nèi)不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜干燥作業(yè)，抹灰采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層，并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發(fā)霉的涂料。無塵車間技術夾層的墻面和頂棚表面應平整、光滑，位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。
十萬級無塵車間施工方案：
1) 彩鋼板天花部分：潔凈區(qū)域用雙面彩鋼板, 顏色用灰白，厚50mm夾芯;其它區(qū)域也可以做輕鋼龍骨石膏板或鋁扣板天花，600*600mm.
2) 彩鋼板隔斷部分：用雙面彩鋼板圍護及間隔、包柱，圍護面到天花頂;潔凈走廊及車間間隔處做鋁材玻璃窗,窗臺高900mm, 玻璃厚5mm, 寬度2000，高1000mm；雙開門高度(2100mm)寬度，(1600mm)，鋁材窗料用凈化專用材料，45度斜邊，與地面及天花交角做元弧及陰角接口,符合規(guī)范及衛(wèi)生消毒要求、整體光亮、易清潔、不易染塵。
3) 單開門：800X2100mm，上做玻璃觀察窗，裝球型通道鎖。
4) 地面：原水泥地面需經(jīng)平整處理后做2mm厚環(huán)氧樹脂EPOXY面層，耐磨耐壓; 其他區(qū)域可做厚0.5mm環(huán)氧樹脂滾涂層;顏色為綠色。無塵清潔明亮，易清洗，衛(wèi)生，不積塵菌，或鋪設PVC防靜電地板。
5) 柱子：柱子用彩鋼板隔斷材料用外圓柱鋁材全包邊。
6） 照明、配電：用不銹鋼邊吸頂式無塵凈化燈盤40WX2，工作區(qū)>300Lux，過道區(qū)>100Lux;無塵間設紫外線殺菌燈，與照明燈具分路設計。用鐵線管暗敷。符合防火及用電規(guī)范。
7) 人員進入前的人身凈化, 設換鞋、一、二次更衣、洗手、烘干、手消毒及風淋門等區(qū)域。
8）由送排風組成的空氣循環(huán)系統(tǒng)保證了室內(nèi)空氣的清新和潔凈。由水冷或風冷機組加增壓風柜（含初中效過濾），經(jīng)鍍鋅風管，末端加高效過濾送風口，保證空氣的潔凈度。
凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。
溫度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300LX
凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。