由于高效過濾器一般作為過濾末端，因此對高效過濾器的各項要求也最為嚴格，出廠需逐臺檢測。高效過濾器作為末端是各級過濾器中最關鍵的一級，需要額外的“觀照”。要延長高效過濾器的使用壽命，最根本的辦法是將灰塵擋在預過濾器。更換預過濾一般無須停產(chǎn)、無須調(diào)試，所以有經(jīng)驗的業(yè)主會把注意力和金錢放在預過濾器上。對于10000級和100000級潔凈廠房。預過濾可選用F8過濾器（比色法95%），這樣，末端高效過濾器的使用壽命一般可達五年。在國外項目中和國內(nèi)新項目中，
F8過濾器是非均勻流潔凈室最常見的預過濾器。對于芯片廠100級，10級或更高級別的潔凈廠房，預過濾器的常見效率級別為H10（MPPS85%），許多新項目索性選用HEPA（對0.3um粒子的效率≥99.97%）。在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設計中，過濾器常見配置為：粗效→中效→高效。那時高效過濾器的使用壽命僅為1—3年，最差的也就幾個月?？梢姡A過濾器的效率