FFU全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風機濾網單元”。確切地說是一種自帶動力、具有過

濾功效的模塊化的末端送風裝置。風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整

個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。
性能結構：
1.FFU工作時間長，低噪聲、免維護、震動小、可無級調速，風速均勻，安裝方便等。FFU可模塊化

連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用

場合。
2.FFU層流罩風機濾網機組可模塊化連接使用，使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產

線、組裝式潔凈室和局部百級等應用場合。
3.FFU層流罩設有初、高效兩級過濾網。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾，過濾

后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。
4.FFU過濾單元采用美國最新技術，適用于在各種環(huán)境中獲得高級別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小

，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新

中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環(huán)境的理

想部件。
整體設計：
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安

裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊

，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾

器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風

所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設計施工簡便，風速調節(jié)靈活，潔凈

區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
該機組設計整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采

用刀邊型框架時，這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據設計的規(guī)格，他可輕而易舉配合任何

吊頂骨架，達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質或不銹鋼，各具特色。采用這種機組，可以為潔凈

室輸送高質量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠

家及光學、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。一般萬級無塵室所用的高效過濾

器，它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達99.99%，出風風速0.4m/s，最大不能有超過20KG

以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構。
特點：
第一：靈活性。
因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區(qū)控制

。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變

得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二：可再利用性。
從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風。
這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，

靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設周期。
使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投

資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。
雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節(jié)能、免

維護等特點。
不銹鋼FFU：
1、FFU外形尺寸(mm)：1175*575*340，噪聲小于50分貝;
2、FFU箱體和高效過濾器采用分體式設計,安裝,更換高效更方便;
3、風機采用德國ebm直驅式離心風機,工作時間長達5萬小時以上;
4、并具有節(jié)能、計算機集中控制、運行穩(wěn)定、噪聲低、數字化調整等特性;
5、FFU采用獨特的風道風速均勻，整個出風面以0.45M/S風速均勻送出。
6、殼體可選用鏡面不銹鋼、鋁合金制做美觀大方;
7、出廠前均按美國聯邦標準(209E)用激光粒子計數器逐臺掃描檢測，確保質量;
8、適用于10~1000級無塵車間，便于整體運行集中控制;
9、適合于組裝成超凈生產線，可根據工藝需要布置為單臺使用，也可將多臺串聯形成100級流水裝

配線。