全自動(dòng)鼻輪設(shè)計(jì)、全程軟件控制
3A (3 Automatic) 特點(diǎn)設(shè)計(jì)
鼻輪自動(dòng)變倍
鏡頭自動(dòng)對(duì)焦
光源自動(dòng)控制
采用 ARCS 精密光學(xué)尺,分辨率為 0.1μm
線性精度 X、Y 軸 < 1μm (1+L/200) μm)
重復(fù)精度 <1 μm
搭配 SI-901專業(yè)幾何影像量測(cè)軟件
1. 晶圓焊線(Die Bonding)確認(rèn)
(a) 基底高度量測(cè)
(b) 蛋白高量測(cè)
(c) 蛋白 X軸、Y軸距離量測(cè)
(d) 線弧高量測(cè)