超精密進給平臺結(jié)構(gòu)材料的選擇首先要降低環(huán)境的影響，其次是 提高進給平臺的動態(tài)性能。如現(xiàn)在日本已經(jīng)開始大量應(yīng)用工程陶瓷材料作為工作臺的結(jié)構(gòu)材料，而不再是 傳統(tǒng)的鋼材，殷鋼或花崗巖。因此迫切需要尋找一種新結(jié)構(gòu)材料來降低對工作環(huán)境的要求，提高工作臺動態(tài)性能。
超精密進給平臺的關(guān)鍵技術(shù)包括：高精度導(dǎo)軌技術(shù)、先進驅(qū)動技術(shù)、超精密測量技術(shù)、先進控制方法等。其中高精度導(dǎo)軌技術(shù)是 一項非 常重要的基礎(chǔ)技術(shù)。目前空氣靜壓導(dǎo)軌因其精度高，清潔等特點，在已研制的超精密平臺中廣泛應(yīng)用。而空氣靜壓導(dǎo)軌中，多孔質(zhì)節(jié)流器以其承載能力大，剛度高等特點被廣泛應(yīng)用，但國內(nèi)對其理論分析，制造方法等研究較少，迫切需要進一步對其進行分析研究?？諝忪o壓導(dǎo)軌由于氣膜小，大理石平板對設(shè)計制造的要求較高，目前還沒有系統(tǒng)的設(shè)計方法指導(dǎo)其設(shè)計制造，因此迫切需要對其進行研究。
 直線電機和旋轉(zhuǎn)伺服電機相比，伺服控制的難度大，要求高。直線電機在使用中存在各種擾動，由于沒有中間傳動環(huán)節(jié)，這些擾動會直接作用在運動部件上，需要解決使用何種控制方法能取得較好的控制效果。
因此本文主要從以下幾個方面展開研究：
1)超精密進給平臺的結(jié)構(gòu)材料研究；
2)多孔質(zhì)氣體潤滑技術(shù)研究；
3)空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計方法研究；
4)直接驅(qū)動控制技術(shù)研究。
花崗石經(jīng)長期時效，內(nèi)應(yīng)力消失，材質(zhì)穩(wěn)定，不會變形。那么花崗石機械構(gòu)件有什么特點呢？又需要怎么維護呢？
花崗石機械構(gòu)件的特點：
抗磨蝕，耐高溫，維護。
物理性穩(wěn)定，組織縝密，受撞擊晶粒脫落，表面不起毛邊，不影響其平面精度花崗石精密測量平板。
花崗石機械構(gòu)件的工作表面在使用中保養(yǎng)維護簡便，材質(zhì)穩(wěn)定，能夠保證長期不變形，線膨脹系數(shù)小，機械精度高，防銹、防磁、絕緣。
不變形，硬度高，耐磨性強。
花崗石構(gòu)件適用於現(xiàn)場的工作環(huán)境， 并高度恒久長期保有產(chǎn)品本身精度的特性，更能確定工作環(huán)境中加工與檢測的精度與工作產(chǎn)品品質(zhì)！ 特別是 用於高精度的測量方面。
花崗石機械構(gòu)件的維護：
避免花崗石機械構(gòu)件受到撞擊，造成平臺的變形及損壞。工件的重量更不可超過平板的額定載荷，否則會降低工作質(zhì)量，還有可能損壞平板的結(jié)構(gòu)，造成平板的變形，無法使用。要輕拿輕放。使用過程中。不要在平臺上挪動比較粗糙的工件，以免對平臺表面造成磕碰，劃傷等損壞。 做好使用工具的日常保養(yǎng)是 每個行業(yè)應(yīng)該都具備的一項基本素質(zhì)，這樣既可以保障生產(chǎn)的安全性和效率性，同時也可以提高器具的使用時間和壽命，提高它們 的實際利用率。
大理石平臺誤差以及調(diào)試方法。
一、產(chǎn)生的誤差。
加工誤差：尺寸誤差；宏觀幾何形狀誤差；相互位置誤差；表面粗糙度。
公差：控制幾何參數(shù)的技術(shù)規(guī)定就稱"公差"，即為實際參數(shù)值所允許的較大變動量。
誤差在加工過程中產(chǎn)生，公差由設(shè)計人員確定。公差是 誤差的較大允許值。
二、大理石平臺的調(diào)平步驟。
1、將大理石平臺平放于地面，手感調(diào)整四角 穩(wěn)定性，微調(diào)活動地腳，直到穩(wěn)定。
2、將大理石平臺放置在支架上，調(diào)整其支點位置，盡量接近中心對稱。
3、初調(diào)各支腳，使各支點均勻受力。
4、用水平測量儀器，通常使用水平尺或電子水平儀檢測大理石平臺水平狀況、微調(diào)相關(guān)支點，直到符合水平位置。
5、初調(diào)合格后，靜置12小時后，進行復(fù)制，如不合格需進行再次調(diào)整，如合格方可使用。
6、花崗石量具 使用后根據(jù)實際實地環(huán)境周期性檢測維護。
泊頭市億創(chuàng)量具制造有限公司（http://www.btyclj.com）從事花崗石T型槽平板 具有精度高、壽命長、耐酸堿、不易變形、不生銹、耐酸堿、不磁化、不變型、耐磨性好等優(yōu)點。系檢驗平臺適用于各種檢驗工作，精密測量用的基準(zhǔn)平面；用于機床機械檢驗測量基準(zhǔn)；檢查零件的尺寸精度或形為偏差，并作緊密劃線，在機械制造中也是 不可缺少的基本工具。柔性焊接平臺是 一種可以自由組合的夾具，可適應(yīng)不同的工件形狀，幾套夾具系統(tǒng)就可以替代大量高成本的專用工裝，使用該工裝后，可以省去因產(chǎn)品變化而投入的專用工裝的費用和時間。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電站、冶金、機械、化工等生產(chǎn)領(lǐng)域。